氦质谱检漏检漏的方案很多，常见的有三种检漏方法有负压法，正压法和背压法

1.负压法（喷氦法）
对被检工件抽真空
可对被检工件外可疑漏点喷氦，也可将工件罩起来对氦罩内喷氦
可根据工件容积大小选配辅助泵或不加辅助泵
可检测工件的具体漏点和准确漏率
检测精度高
适用行业：镀膜行业，真空炉，真空配件，真空阀门，压力容器，真空系统等。

2.正压法（吸入法）
可分为真空箱法和吸枪法两张模式，真空箱法详见真空箱式氦检成套设备
工件内充氦气，吸抢检测
可根据工件漏率选择性充入一定比例混合氦气
可检测工件的具体漏点
检测精度高
适用行业：特种阀门，高压管道，制冷管路，汽轮机组等。

3.背压法
真空模式
工件先在压氦罐中打入高压氦气，迫使氦气进入泄漏工件，再放入检漏罐中检测是否有氦气漏出
可根据工件大小定制罐体大小
可检测工件的整体漏点
检测精度较高
适用行业：电子元器件，电子封装等。